质量流量控制器的原理
质量流量控制器由传感器、旁路、流体控制阀和电路组成。热流量传感器经常被用作流量传感器。在质量流量控制器内，流体流经传感器和旁路。在传感器中，加热器缠绕在流体通过的管道上，将管道上游和下游流动的气体之间的温差转换成电信号来测量流速。热质量传感器对于可输送到传感器的流体量有一个限制。
因此，通过使一部分流量流向传感器，将剩余流量流向旁路，可以使分流的比例保持恒定，即使流量很大，也可以高精度地控制流量。流量由传感器测量，然后由流体控制阀调节。电磁执行器、热执行器和压电执行器用作流体控制阀中的执行器（将电信号转换为物理运动的装置） 。